Producción y caracterización de recubrimientos de CNx

En este trabajo de investigación se crecieron películas de nitruro de carbono CNx utilizando un sistema magnetrón sputtering r.f. (13.6 MHz), sobre sustratos de cloruro de sodio, acero y Silicio (100) a partir de un blanco de carbono pirolítico (99.999%), utilizando diferentes concentraciones de N2/Ar en la mezcla de gas. La composición y los enlaces químicos de las películas se estudiaron mediante espectroscopia fotoelectrónica de rayos - X (XPS) y espectroscopía de infrarrojo (IR). La morfología superficial de los recubrimientos se examinó por microscopía de fuerza atómica AFM. La dureza y el modulo de elasticidad de las películas se determinaron a partir de análisis de nanoindentación, se midieron durezas de 25 GPa. Los datos experimentales se complementaron con cálculos teóricos, utilizando el código de Car-Parrinello Molecular Dynamics (CPMD), este es un código de ondas planas que resuelve ecuaciones de Kon-Sham bajo la aproximación de pseudopotenciales, con ellos se determinó la estructura cristalina y sus parámetros de red, la estructura de bandas, la vibración de los fonones y algunas constantes elásticas de la fase BC3N4.