Handbuch Vakuumtechnik

Das systematische Durcharbeiten der Autoren verbesserte dieses Standardwerk der Vakuumtechnik nochmals und gibt in dieser aktualisierten Version dem Leser erschöpfend Auskunft über Theorie und Praxis. Ein erstmals aufgenommer Bezugsquellennachweis betont den Ratgebercharakter für Ausbildung und Labor.

1 Einleitung.- 1.1 Die Entwicklung der Vakuumtechnik.- 1.2 Bedeutung und Aufgabe der heutigen Vakuumtechnik.- 1.3 Literatur.- 2 Gasgesetze, Grundlagen der kinetischen Gastheorie und Gasdynamik.- 2.1 Die Zustandsgrößen eines Gases.- 2.2 Mengengrößen, mengenbezogene Größen.- 2.3 Die Gesetze des idealen Gases.- 2.4 Grundlagen der kinetischen Theorie der Materie, insbesondere im gasförmigen Zustand.- 2.5 Transportvorgänge.- 2.6 Dämpfe. Verdampfung und Kondensation.- 2.7 Gasdynamik.- 2.8 Literatur.- 3 Sorption und Desorption.- 3.1 Sorptionsphänomene und deren Bedeutung; Begriffe und Terminologie.- 3.2 Adsorptions- und Desorptionskinetik.- 3.3 Praktische Hinweise zu Adsorption und Desorption.- 3.4 Absorption, Okklusion.- 3.5 Ausgasung.- 3.6 Literatur.- 4 Strömungsvorgänge.- 4.1 Übersicht. Kennzeichnung der Strömung durch Vakuumbereiche.- 4.2 Gasstrom, Saugleistung, Saugvermögen.- 4.3 Rohrleitung als Strömungswiderstand.- 4.4 Das effektive Saugvermögen einer Vakuumpumpe.- 4.5 Strömung im Grobvakuumbereich.- 4.6 Strömung im Hoch- und Ultrahochvakuumbereich.- 4.7 Strömung im Feinvakuum.- 4.8 Strömung bei Temperaturdifferenz zwischen zwei Kesseln/Rezipienten/ Gefäßen. Thermische Effusion.- 4.9 Messung von Strömungsleitwerten.- 4.10 Literatur.- 5 Verdrängerpumpen.- 5.0 Übersicht.- 5.1 Oszillations-Verdrängerpumpen.- 5.2 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen.- 5.3 Ölgedichtete Rotations-Vakuumpumpen.- 5.4 Wälzkolbenpumpen (Rootspumpen).- 5.5 Trocken verdichtende Vakuumpumpen.- 5.6 Literatur.- 6 Treibmittelpumpen.- 6.1 Einleitung, Übersicht.- 6.2 Flüssigkeitsstrahlpumpen.- 6.3 Dampf- und Gasstrahl-Vakuumpumpen.- 6.4 Diffusionspumpen.- 6.5 Diffusionspumpen - Dampfstrahlpumpen.- 6.6 Literatur.- 7 Molekularpumpen.- 7.1 Einleitung.- 7.2 Molekularpumpen.- 7.3Turbomolekularpumpen.- 7.4 Theorie der einstufigen Pumpe.- 7.5 Leistungsdaten von Turbomolekularpumpen.- 7.6 Betriebshinweise.- 7.7 Anwendungen.- 7.8 Literatur.- 8 Sorptionspumpen.- 8.1 Adsorptionspumpen.- 8.2 Gasaufzehrung durch Getter.- 8.3 Ionenzerstäuberpumpen.- 8.4 Literatur.- 9 Kondensatoren.- 9.1 Kondensatoren als Vakuumpumpen.- 9.2 Bauarten von Kondensatoren.- 9.3 Kondensatoren in Kombination mit Vakuumpumpen.- 9.4 Berechnung von Kondensator-Pumpen-Kombinationen.- 9.5 Literatur.- 10 Kryotechnik und Kryopumpen.- 10.1 Einleitung.- 10.2 Kühlverfahren.- 10.3 Stoffeigenschaften bei tiefen Temperaturen.- 10.4 Temperaturmessung.- 10.5 Kryostatentechnik.- 10.6 Kryopumpen.- 10.7 Literatur.- 11 Vakuummeßgeräte und Lecksuchgeräte.- 11.0 Vorbemerkung.- 11.1 Druck- und Teilchenanzahldichte; Übersicht.- 11.2 Mechanische Vakuummeter.- 11.3 Flüssigkeitsmanometer.- 11.4 Wärmeleitungsvakuummeter.- 11.5 Ionisationsvakuummeter.- 11.6 Partialdruckmeßgeräte.- 11.7 Lecksuchgeräte.- 11.8 Kalibrieren von Vakuummetern.- 11.9 Literatur.- 12 Lecksuchtechnik.- 12.1 Überblick.- 12.2 Überdruckverfahren.- 12.3 Lecksuchverfahren bei Vakuum.- 12.4 Testlecke für Lecksuchgeräte.- 12.5 Allgemeine Hinweise für die Lecksuche.- 12.6 Lecksuchtechnik in der Serienfertigung.- 12.7 Literatur.- 13 Werkstoffe.- 13.1 Allgemeine Gesichtspunkte und Einteilung.- 13.2 Die Werkstoffe im einzelnen.- 13.3 Gasdurchlässigkeit.- 13.4 Gasabgabe.- 13.5 Literatur.- 14 Bauelemente der Vakuumtechnik und ihre Verbindungen.- 14.1 Nichtlösbare Verbindungen.- 14.2 Lösbare Verbindungen.- 14.3 (Vakuum-)Behälter.- 14.4 Durchführungen.- 14.5 Flexible Verbindungsstücke.- 14.6 Absperrorgane (Ventile).- 14.7 Reinigen vakuumtechnischer Werkstoffe und Bauelemente.- 14.8 Literatur.- 15 Arbeitstechnik in deneinzelnen Druckbereichen.- 15.1 Allgemeine Hinweise.- 15.2 Arbeitstechnik im Grobvakuum (1013 ... 1 mbar).- 15.3 Arbeitstechnik im Feinvakuum (1 ... 10?3 mbar).- 15.4 Arbeitstechnik im Hochvakuum (10?3 ... 10?7 mbar).- 15.5 Arbeitstechnik im Ultrahochvakuum (p